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壓力傳感器在汽車(chē)上使用很廣泛
時(shí)間: 2022-07-07 15:08:19 瀏覽次數：
壓力傳感器在汽車(chē)上的應用
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類(lèi):壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來(lái)，本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，然后介紹基于MEMS技術(shù)應用于汽車(chē)的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應工作的壓阻元件。所謂壓阻元件，實(shí)際上是指集成電路工藝在半導體材料襯底上形成的分散電阻。當它受到外力作用時(shí)，其電阻值會(huì )隨著(zhù)電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時(shí)需要附著(zhù)在彈性元件上，常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局，封裝在殼體內。在圓形單晶硅膜片上，插入四個(gè)分布式電阻，兩個(gè)在壓應力區，另兩個(gè)在拉應力區。它們組成了一個(gè)全橋測量電路。硅膜片固定有圓形硅杯，兩側有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)是與被測壓力連續的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，與參考壓力相連，參考壓力通常與壓力大氣相同。當有壓差時(shí)，膜片變形，使兩對電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側所承受的壓力差。
目前，壓力傳感器是一種典型的汽車(chē)傳感器，在汽車(chē)上得到了廣泛的應用。隨后被廣泛應用于高壓場(chǎng)所，如懸浮壓力檢測、空調制冷壓力檢測等?，F在，壓力傳感器進(jìn)一步擴展到高壓場(chǎng)所，如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統?？梢?jiàn)，壓力傳感器在汽車(chē)領(lǐng)域有著(zhù)廣闊的發(fā)展前景。
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類(lèi):壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來(lái)，本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，然后介紹基于MEMS技術(shù)應用于汽車(chē)的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應工作的壓阻元件。所謂壓阻元件，實(shí)際上是指集成電路工藝在半導體材料襯底上形成的分散電阻。當它受到外力作用時(shí)，其電阻值會(huì )隨著(zhù)電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時(shí)需要附著(zhù)在彈性元件上，常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局，封裝在殼體內。在圓形單晶硅膜片上，插入四個(gè)分布式電阻，兩個(gè)在壓應力區，另兩個(gè)在拉應力區。它們組成了一個(gè)全橋測量電路。硅膜片固定有圓形硅杯，兩側有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)是與被測壓力連續的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，與參考壓力相連，參考壓力通常與壓力大氣相同。當有壓差時(shí)，膜片變形，使兩對電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側所承受的壓力差。
目前，壓力傳感器是一種典型的汽車(chē)傳感器，在汽車(chē)上得到了廣泛的應用。隨后被廣泛應用于高壓場(chǎng)所，如懸浮壓力檢測、空調制冷壓力檢測等?，F在，壓力傳感器進(jìn)一步擴展到高壓場(chǎng)所，如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統?？梢?jiàn)，壓力傳感器在汽車(chē)領(lǐng)域有著(zhù)廣闊的發(fā)展前景。
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