1、線(xiàn)性誤差
線(xiàn)性誤差對力傳感器的誤差影響也是比較小的,這個(gè)誤差產(chǎn)生的原因是由于硅片的物理非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凸形曲線(xiàn),也可以是凹形曲線(xiàn)。對于帶放大器的傳感器,還會(huì )包括放大器的非線(xiàn)性。壓力傳感器的這四個(gè)誤差是不能避免的,其中,靈敏度誤差和偏移量誤差對于力傳感器的影響較大,而滯后誤差和線(xiàn)性誤差對其的影響是很小的,甚至滯后誤差是可以忽略不計的。因此,我們在選擇高精度的力傳感器時(shí),要利用高新的技術(shù)來(lái)盡量降低這些誤差,另外,還可以在設備出廠(chǎng)的時(shí)候,進(jìn)行誤差校準,來(lái)盡可能的降低誤差,滿(mǎn)足用戶(hù)和生產(chǎn)的需要。
2、靈敏度誤差
該誤差產(chǎn)生的原因是擴散過(guò)程的變化。靈敏度產(chǎn)生誤差的大小是和壓力成正比的。如果壓力傳感器的靈敏度低于典型的值的話(huà),那么靈敏度的誤差將是壓力的遞減函數;如果壓力傳感器的靈敏度大于典型的值,那么這個(gè)靈敏度的誤差將會(huì )是壓力的遞增函數。
3、滯后誤差
在大多數的情況下,壓力傳感器的滯后誤差是可以忽略不計的。為什么呢?因為硅片具有很強的機械剛度,通常只需要在壓力變化很大的情況下,才會(huì )考慮滯后誤差。
4、偏移量誤差
由于壓力傳感器在整個(gè)的壓力范圍內,其垂直偏移都是保持恒定的,因此激光調節修正和變換器擴散的變化,將會(huì )產(chǎn)生偏移量誤差。
Copyright ? 南京凱基特電氣有限公司 版權所有 蘇ICP備12080292號-5
全國服務(wù)電話(huà):025-85941802 傳真:025-87168200
公司地址:江蘇省南京市江寧區科寧路777號申智滙谷9棟101